无尘车间标准所使用的粒径的测量单位是微米，1微米等于百万分之一米。

    无尘车间的级别是按其空气洁净度划分的，美国联邦标准准209A至D的无尘车间分级最容易理解，但该等级正被最新版本E所取代，后来又被ISO-14644-1所取代，尽管如此，老版本仍被广泛采用，在联邦标准的老版本中（A至D），大于等于0.5um粒子的数量是按每立方英尺空气计数的，并以此计算和划分无尘车间的等级，而最新的联邦209E标准采用了公制，到1999年，颁布了ISO 14644-1，该标准已经被欧洲所有国家采用，并逐淅为世界其他国家所采用。

    本书中采用的是ISO 14644-1的无尘车间分级标准，并在括号中注明了FS-209的相应级别。

    联邦标准209早期版本（A至D）

    联邦标准209于1963年在美国首先公布，其名称是“洁净室和工作站（受控环境）技术条件”，到1966年做了更改（209A），1973年更改为版本本B,1987年改为版本C,1988年改为版本D,1992年改为版本E。

    联邦标准209E

    联邦标准209E的室内悬浮粒子浓度以公制单位即每立方米表示，洁净级别则为每立方米大于等于0.5um悬浮粒子浓度之对数。

    ISO 14644-1标准

    国际标准化组织ISO正在制订无尘车间的系列标准，它涵盖了无尘车间的重要项目，例如设计、测试、运行、生物污染等，1999年出版了其第一个标准ISO 14644-1，题为“空气洁净度等级”并给出了无尘车间分级方法。

    应当注意的是，无尘车间的ISO 14644-1级别与联邦标准209的级别可以转换，如果ISO标准的每立方米粒子浓度被35.2除，就转换成每立方英尺的粒子计数。

    ISO 14644-1规定的占用状态如下：

    “空态”：无尘车间所有设施要安装完毕并在工作，但无生产设备，材料或人员在场。

    “静态”：无尘车间怕有设施在运行，生产设备安装完毕并以供需双方同意的方式运行，但无人员在场。