无机半导体材料有硒、锗和单晶硅。后来发现由两种元素构成的化合物中，有些也有类似的性能。这两种元素分别来自元素周期表的第三主族（如镓）和第五主族（如砷）。由这两族元素形成的化合物如锑化铟是半导体材料，1975年来已用它制成最灵敏的近红外检测器。后来又研制成功用砷化镓单晶作为半导体材料，用于激光、激光显示器和长波光通讯中。