±¡²ã²ãÎöÊÇÒ»ÖÖ¼ò±ã¡¢¿ìËÙ¡¢Î¢Á¿µÄ²ãÎö·½·¨¡£Ò»°ã½«Öù²ãÎöÓõÄÎü¸½¼ÁÈö²¼µ½Æ½ÃæÈç²£Á§Æ¬ÉÏ£¬ÐγÉÒ»±¡²ã½øÐвãÎöʱһ¼´³Æ±¡²ã²ãÎö¡£ÆäÔÀíÓëÖù²ãÎö»ù±¾ÏàËÆ¡£
¡¡¡¡1£®±¡²ã²ãÎöµÄÌØµã£º±¡²ã²ãÎöÔÚÓ¦ÓÃÓë²Ù×÷·½ÃæµÄÌØµãÓëÖù²ãÎöµÄ±È½Ï¡£
¡¡¡¡2£®Îü¸½¼ÁµÄÑ¡Ôñ£º±¡²ã²ãÎöÓõÄÎü¸½¼ÁÓëÆäÑ¡ÔñÔÔòºÍÖù²ãÎöÏàͬ¡£Ö÷񻂿±ðÔÚÓÚ±¡²ã²ãÎöÒªÇóÎü¸½¼Á£¨Ö§³Ö¼Á£©µÄÁ£¶È¸üϸ£¬Ò»°ãӦСÓÚ250Ä¿£¬²¢ÒªÇóÁ£¶È¾ùÔÈ¡£ÓÃÓÚ±¡²ã²ãÎöµÄÎü¸½¼Á»òÔ¤ÖÆ±¡²ãÒ»°ã»î¶È²»Ò˹ý¸ß£¬ÒÔ¢ò¡«¢ó¼¶ÎªÒË¡£¶øÕ¹¿ª¾àÀëÔòËæ±¡²ãµÄÁ£¶È´Öϸ¶ø¶¨£¬±¡²ãÁ£¶ÈԽϸ£¬Õ¹¿ª¾àÀëÏàÓ¦Ëõ¶Ì£¬Ò»°ã²»³¬¹ý10ÀåÃ×£¬·ñÔò¿ÉÒýÆðÉ«Æ×À©É¢Ó°Ïì·ÖÀëЧ¹û¡£
¡¡¡¡3£®Õ¹¿ª¼ÁµÄÑ¡Ôñ£º±¡²ã²ãÎö£¬µ±Îü¸½¼Á»î¶ÈΪһ¶¨ÖµÊ±£¨Èç¢ò»ò¢ó¼¶£©£¬¶Ô¶à×é·ÖµÄÑùÆ·ÄÜ·ñ»ñµÃÂúÒâµÄ·ÖÀ룬¾ö¶¨ÓÚÕ¹¿ª¼ÁµÄÑ¡Ôñ¡£ÖвÝÒ©»¯Ñ§³É·ÖÔÚÖ¬ÈÜÐԳɷÖÖУ¬´óÖ¿ɰ´Æä¼«ÐÔ²»Í¬¶ø·ÖΪÎÞ¼«ÐÔ¡¢Èõ¼«ÐÔ¡¢Öм«ÐÔÓëÇ¿¼«ÐÔ¡£µ«ÔÚʵ¼Ê¹¤×÷ÖУ¬¾³£ÐèÒªÀûÓÃÈܼÁµÄ¼«ÐÔ´óС£¬¶ÔÕ¹¿ª¼ÁµÄ¼«ÐÔÓèÒÔµ÷Õû¡£
¡¡¡¡4·ÌØÊⱡ²ã£ºÕë¶ÔijЩÐÔÖÊÌØÊâµÄ»¯ºÏÎïµÄ·ÖÀëÓë¼ì³ö£¬ÓÐʱÐè²ÉÓÃÒ»Ð©ÌØÊⱡ²ã¡£
¡¡¡¡¢Ù Ó«¹â±¡²ã£ºÓÐЩ»¯ºÏÎï±¾ÉíÎÞÉ«£¬ÔÚ×ÏÍâµÆÏÂÒ²²»ÏÔÓ«¹â£¬ÓÖÎÞÊʵ±µÄÏÔÉ«¼Áʱ£¬Ôò¿ÉÔÚÎü¸½¼ÁÖмÓÈëÓ«¹âÎïÖÊÖÆ³ÉÓ«¹â±¡²ã½øÐвãÎö¡£Õ¹²ãºóÖÃÓÚ×ÏÍâ¹âÏÂÕÕÉ䣬±¡²ã°å±¾ÉíÏÔÓ«¹â£¬¶øÑùÆ·°ßµã´¦²»ÏÔÓ«¹â£¬¼´¿É¼ì³öÑùÆ·µÄ²ãÎöλÖᣳ£ÓõÄÓ«¹âÎïÖʶàΪÎÞ»úÎï¡£ÆäÒ»ÊÇÔÚ¡¡254nm×ÏÍâ¹â¼¤·¢ÏÂÏÔ³öÓ«¹âµÄ£¬ÈçÃ̼¤½àµÄ¹èËáп¡£ÁíÒ»ÖÖΪÔÚ365nm×ÏÍâ¹â¼¤·¢Ï·¢³öÓ«¹âµÄ£¬ÈçÒø¼¤»¯µÄÁò»¯Ð¿Áò»¯¸ä¡£
¡¡¡¡¢Ú ÂçºÏ±¡²ã£º³£ÓõÄÓÐÏõËáÒø±¡²ã£¬ÓÃÀ´·ÖÀë̼Ô×ÓÊýÏàµÈ¶øÆäÖÐCÒ»CË«¼üÊýÄ¿²»µÈµÄһϵÁл¯ºÏÎÈç²»±¥ºÍ´¼¡¢ËáµÈ¡£ÆäÖ÷Òª»úÀíÊÇÓÉÓÚCÒ»C¼üÄÜÓëÏõËáÒøÐγÉÂçºÏÎ¶ø±¥ºÍµÄCÒ»C¼üÔò²»ÓëÏõËáÒøÂçºÏ¡£Òò´ËÔÚÏõËáÒø±¡²ãÉÏ£¬»¯Ì¨Îï¿ÉÓÉÓÚ±¥ºÍ³Ì¶È²»Í¬¶ø»ñµÃ·ÖÀë¡£²ãÎöʱ±¥ºÍ»¯ºÏÎïÓÉÓÚÎü¸½×îÈõ¶øRf×î¸ß£¬º¬Ò»¸öË«¼üµÄ½Ïº¬Á½¸öË«¼üµÄRfÖµ¸ß£¬º¬Ò»¸öÈý¼üµÄ½Ïº¬Ò»¸öË«¼üµÄRfÖµ¸ß¡£´ËÍ⣬ÔÚÒ»¸öË«¼ü»¯Ì¨ÎïÖУ¬Ë³Ê½µÄÓëÏõËáÒøÂçºÏ½Ï·´Ê½µÄÒ×ÓÚ½øÐС£Òò´Ë£¬»¹¿ÉÓÃÀ´·ÖÀë˳·´Òì¹¹Ìå¡£
¡¡¡¡¢Û Ëá¼î±¡²ãºÍPH»º³å±¡²ã£ºÎªÁ˸ıäÎü¸½¼ÁÔÀ´µÄËá¼îÐÔ£¬¿ÉÔÚÆÌÖÆ±¡²ãʱ²ÉÓÃÏ¡Ëá»òÏ¡¼îÒÔ´úÌæË®µ÷ÖÆ±¡²ã¡£ÀýÈç¹è½º´øÎ¢ËáÐÔ£¬ÓÐʱ¶Ô¼îÐÔÎïÖÊÈçÉúÎï¼îµÄ·ÖÀë²»ºÃ£¬Èç²»ÄÜÕ¹²ã»òÍÏ⣬Ôò¿ÉÔÚÆÌ±¡²ãʱ£¬ÓÃÏ¡¼îÈÜÒº0.1¡«0£®5NNa0HÈÜÒºÖÆ³É¼îÐԹ轺±¡²ã¡£ÀýÈçÖíʺ¶¹¼îÔÚÒԹ轺ΪÎü¸½¼Áʱ£¬ÒÔÂÈ·Â-±ûͪһ¼×´¼£¨8£º2£º1£©ÎªÕ¹¿ª¼ÁRf£¼0£®1£¬²ÉÓüîÐԹ轺±¡²ãÓÃÉÏÊöÏàͬչ¿ª¼Á£¬RfÖµÔöÖÁ0£®4×óÓÒ¡£ËµÃ÷Öíʺ¶¹¼îΪ--¼îÐÔÉúÎï¼î¡£
¡¡¡¡5.Ó¦Ó㺱¡²ã²ãÎö·¨ÔÚÖвÝÒ©»¯Ñ§³É·ÖµÄÑо¿ÖУ¬Ö÷ÒªÓ¦ÓÃÓÚ»¯Ñ§³É·ÖµÄÔ¤ÊÔ¡¢»¯Ñ§³É·ÖµÄ¼ø¶¨¼°Ì½Ë÷Öù²ã·ÖÀëµÄÌõ¼þ¡£
¡¡¡¡Óñ¡²ã²ãÎö·¨½øÐÐÖвÝÒ©»¯Ñ§³É·ÖÔ¤ÊÔ£¬¿ÉÒÀ¾Ý¸÷Àà³É·ÖÐÔÖʼ°ÊìÖªµÄÌõ¼þ£¬ÓÐÕë¶ÔÐԵؽøÐС£ÓÉÓÚÔÚ±¡²ãÉÏÕ¹²ãºó£¬¿É½«Ò»Ð©ÔÓÖÊ·ÖÀ룬ѡÔñÐԸߣ¬¿ÉʹԤÊÔ½á¹û¸üΪ¿É¿¿¡£
¡¡¡¡ÒÔ±¡²ã²ãÎö·¨½øÖвÝÒ©»¯Ñ§³É·Ö¼ø¶¨£¬×îºÃÒªÓбê×¼ÑùÆ·½øÐй²±¡²ã²ãÎö¡£ÈçÓÃÊýÖÖÈܼÁÕ¹²ãºó£¬±ê׼ƷºÍ¼ø¶¨Æ·µÄRfÖµ¡¢°ßµãÐÎ×´ÑÕÉ«¶¼ÍêÈ«Ïàͬ£¬Ôò¿É×÷³õ²½½áÂÛÊÇͬһ»¯ºÏÎï¡£µ«Ò»°ãÐè½øÐл¯Ñ§·´Ó¦»òºìÍâ¹âÆ×µÈÒ»ÖÖÒÇÆ÷·ÖÎö·½·¨¼ÓÒԺ˶ԡ£
¡¡¡¡Óñ¡²ã²ãÎö·¨Ì½Ë÷Öù²ã·ÖÀëÌõ¼þ£¬ÊÇʵÑéÊҵij£¹æ·½·¨¡£ÔÚ½øÐÐÖù²ã·ÖÀëʱ£¬Ê×ÏÈ¿¼ÂÇÑ¡ÓúÎÖÖÎü¸½¼ÁÓëÏ´ÍѼÁ¡£ÔÚÏ´Íѹý³ÌÖи÷¸ö³É·Ö½«°´ºÎÖÖ˳Ðò±»Ï´ÍÑ£¬Ã¿Ò»Ï´ÍÑÒºÖÐÊÇ·ñΪµ¥Ò»³É·Ö»ò»ìºÏÌ壬¾ù¿ÉÓɱ¡²ãµÄ·ÖÀëµÃµ½ÅжÏÓë¼ìÑ顣ͨ¹ý±¡²ãµÄÔ¤·ÖÀ룬»¹¿ÉÒÔÁ˽â¶à×é·ÖÑùÆ·µÄ×é³ÉÓëÏà¶Ôº¬Á¿¡£ÈçÔÚ±¡²ãÉÏÃþË÷µ½±È½ÏÂúÒâµÄ·ÖÀëÌõ¼þ£¬¼´¿É½«´ËÌõ¼þÓÃÓÚ¸ÉÖù²ãÎö¡£µ«Òà¿ÉÒÔ½«±¡²ã·ÖÀëÌõ¼þ¾Êʵ±¸Ä±ä£¬×ªÖÁÒ»°ãÍù²ãËù²ÉÓÃÏ´Íѵķ½Ê½½øÐÐÖÆ±¸Öù·ÖÀë¡£ÀûÓñ¡²ãµÄÔ¤·ÖÀëѰÕÒÖù²ãµÄÏ´ÍÑÌõ¼þʱ,¼Ù¶¨ÔÚ±¡²ãÉÏËù²âµÃµÄRfÖµÒ»ÑùÆ·ÔÚÖù²ãÖеıÈÒÆÂÊ£¨R£©¡£ÕâÊÇÓÉÓÚÔÚ±¡²ãÕ¹¿ªÊ±£¬±¡²ã¹Ì¶¨ÏàÖÐËùº¬µÄÈܼÁ¾¹ý²»¶ÏµÄÕô·¢£¬¶øÊ¹±¡²ãÉϸ÷µãλÖÃËùº¬µÄÈܼÁÁ¿ÊDz»µÈµÄ£¬¿¿½üÆðʼÏߵĺ¬Á¿¸ßÓÚ±¡²ãµÄÇ°ÑØ²¿·Ö¡£µ«ÈôÑϸñ¿ØÖƲãÎö²Ù×÷Ìõ¼þ£¬Ôò¿ÉµÃµ½½Ó½üÕæÊµµÄRfÖµ¡£Óñ¡²ã½øÐÐijһ×é·ÖµÄ·ÖÀ룬ÆäRfÖµ·¶Î§£¬Ò»°ãÇéÐÎÏÂΪ0£®85£¾Rf£¾0£®05¡£´ËÍ⣬±¡²ã²ãÎö·¨ÒàÓ¦ÓÃÓÚÖвÝÒ©Æ·ÖÖ¡¢Ò©²Ä¼°ÆäÖÆ¼ÁÕæÎ±µÄ¼ì²é¡¢ÖÊÁ¿¿ØÖƺÍ×ÊÔ´µ÷²é£¬¶Ô¿ØÖÆ»¯Ñ§·´Ó¦µÄ½ø³Ì£¬·´Ó¦¸±²úÆ·²úÎïµÄ¼ì²é£¬ÖмäÌå·ÖÎö£¬»¯Ñ§Ò©Æ·¼°ÖƼÁÔÓÖʵļì²é£¬ÁÙ´²ºÍÉú»¯¼ìÑéÒÔ¼°¶¾Îï·ÖÎöµÈ£¬¶¼ÊÇÓÐЧµÄÊֶΡ£