表面粗糙度是影响表面的物理和化学性能的重要因素。研究表面粗糙度有重要的理论意义和应用价值。目前已民用工业许多种量化表示表面粗糙度的方法。最常用的是RMS。但近年来发现许多表面的标度不变的复杂结构，RMS粗糙度不能有效地描述这种特点。在非平衡态下生长的薄膜预期是一个自仿射分的表面，它的RMS粗糙度δ随薄膜生长时间t和x,y基底的水平取样长度L有以下关系：δ（L，t)=Lαf(t/Lα/β）